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一楼有机清洗间(B103)(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:01-04【有机类化药清洗/剥离工艺】
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用途:一、典型应用：wafer清洗、剥离等。
二、...
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抛光机（B400）(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:AP-380F【晶圆化学机械抛光】
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用途:一、典型应用：Si，GaAs，InP，玻璃，陶...
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研磨机（B400）(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:AL-380F【晶圆研磨】
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用途:一、典型应用：Si，玻璃，蓝宝石，陶瓷，GaN...
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减薄机（B400）(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:HRG-150【晶圆减薄】
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用途:一、典型应用：Si，GaAs，InP，玻璃，蓝...
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参观申请(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:100003
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用途:60分钟之内，每人次1元。
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二楼无机清洗间 (B202)(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:02-01【无机类化药清洗/腐蚀工艺】
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用途:一、典型应用：wafer清洗、腐蚀等。
二、...
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物品出入申请(工艺类别:其它 状态:正常)
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编号:100032
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用途:物品出入申请
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