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扫描电子显微镜（B104）(工艺类别:检测 状态:检修)
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编号:JSM-6390【1μm形貌观察】
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用途:一．典型应用：1.样品表面的结构观察；2.三维...
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台阶仪KL（B103）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:DEKTAK XT【台阶测量】
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用途:一、典型应用：半导体工艺制程表面形貌表征。
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PE分光光度计（B101）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:LAMBDA 750【反射率、透射率测试】
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用途:
一、典型应用：光学镀膜样品高反膜、减反膜测...
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高压高流探针测试系统（B405）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:Cascade150+ B1505A【高压测试】
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用途:一、典型应用：是一款一体化器件表征分析仪，能够...
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四探针测试仪（B103）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:CRESBOX【测量方阻、电阻率】
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用途:一、典型应用：用于测量硅片、外延层、扩散层、I...
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应力仪（B302）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:FSM8800【6英寸薄膜应力测试】
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用途:一、典型应用：测试薄膜应力、样品曲率半径/曲率...
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台阶仪（B103）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:Dektak150【台阶测量】
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用途:一、典型应用：半导体工艺制程表面形貌表征。
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检漏仪英福康(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:UL1000Fab
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用途:真空设备检漏
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Veeco轮廓仪（B103）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:WYKO NT1100【测量台阶、粗造度】
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用途:一、典型应用：可用于MEMS表征、厚膜、光学元...
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K-MAC膜厚仪（B103）(工艺类别:检测 状态:正常)
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编号:ST20000-DLX 【5μm膜厚测量】
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用途:一．典型应用：SiO2、Si3N4、ALN等半...
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