工艺类别
设备列表
扫描电子显微镜（B104） 扫描电子显微镜（B104）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:JSM-6390【1μm形貌观察】
用途:一．典型应用：1.样品表面的结构观察；2.三维... 预约
台阶仪KL（B103） 台阶仪KL（B103）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:DEKTAK XT【台阶测量】
用途:一、典型应用：半导体工艺制程表面形貌表征。 ... 预约
PE分光光度计（B101） PE分光光度计（B101）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:LAMBDA 750【反射率、透射率测试】
用途: 一、典型应用：光学镀膜样品高反膜、减反膜测... 预约
高压高流探针测试系统（B405） 高压高流探针测试系统（B405）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:Cascade150+ B1505A【高压测试】
用途:一、典型应用：是一款一体化器件表征分析仪，能够... 预约
四探针测试仪（B103） 四探针测试仪（B103）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:CRESBOX【测量方阻、电阻率】
用途:一、典型应用：用于测量硅片、外延层、扩散层、I... 预约
应力仪（B302） 应力仪（B302）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:FST5000【8英寸薄膜应力测试】
用途:一、典型应用：测试薄膜应力、样品曲率半径/曲率... 预约
台阶仪（B103） 台阶仪（B103）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:Dektak150【台阶测量】
用途:一、典型应用：半导体工艺制程表面形貌表征。 ... 预约
检漏仪英福康 检漏仪英福康(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:UL1000Fab
用途:真空设备检漏 预约
Veeco轮廓仪（B103） Veeco轮廓仪（B103）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:WYKO NT1100【测量台阶、粗造度】
用途:一、典型应用：可用于MEMS表征、厚膜、光学元... 预约
K-MAC膜厚仪（B103） K-MAC膜厚仪（B103）(工艺类别:检测  状态:正常)
编号:ST20000-DLX 【5μm膜厚测量】
用途:一．典型应用：SiO2、Si3N4、ALN等半... 预约
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