离子束刻蚀机IBE（B203）
编号： IBE-A-150（1小时起约）
工艺类别： 刻蚀
所属单位： 加工平台
管理员： 马苏州
状态： 停用
价格： 200/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面撞击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理过程。用于刻蚀较难刻蚀的物质及金属。一次可刻蚀6寸片/4寸片/3寸片一片或2寸片4片。刻蚀均匀性<±5%。 最少一小时起约，预约请注明刻蚀材料及厚度。 如未按要求预约，取消预约。
主要技术指标
装片： 6英寸、4英寸、2英寸，向下兼容； 本底真空：5E-4Pa， 工作真空：2E-2Pa， 温度：20度。 极限真空度：9.0×10-5Pa； 离子能量：≤350eV。（标准工艺，离子能量可选300eV或350eV） 常规金属比如Au,按300eV，刻蚀速率可达35-37nm/min,按350eV,刻蚀速率可达55nm/min。
加工平台布局位置