扫描电子显微镜（B104）
编号： JSM-6390【1μm形貌观察】
工艺类别： 检测
所属单位： 加工平台
管理员： 龚亚飞
状态： 检修
价格： 180/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一．典型应用：1.样品表面的结构观察；2.三维形貌测量。 二．原理：扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。 三．备注：1.导电性差的样品，观察前需要进行导电处理。
主要技术指标
1.放大倍数：×5－×300000 2.加速电压:0.5KV－30KV 3.样品大小：小于2英寸 4.最小分辨率：10nm
加工平台布局位置