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一、典型应用：光学增透膜、高反膜、ITO、截止滤光片等光学薄膜蒸镀。
二、原理：光学薄膜泛指在器件表面用物理化学等方法沉积，利用光的干涉现象以实现增透、高反射、滤光、分光等光学现象。
例如采用减反射膜后可使复杂的光学镜头的光通量损失成十倍地减小；采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高；
利用光学薄膜可提高太阳能电池的效率和稳定性。设备配备两把电子枪和射频等离子体辅助源，一次可蒸镀六寸片6片，两寸片30片，薄膜不均匀性≤±5%。
三、备注：请连续预约2小时起并备注薄膜材料，低于2小时或分开预约将取消工艺，ITO工艺必须3h起约。
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