激光划片机（B402）
编号： Titan【蓝宝石、GaN划片】
工艺类别： 封装
所属单位： 加工平台
管理员： 王洋洋
状态： 检修
价格： 250/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：蓝宝石、GaN等样品的切割。 二、原理：利用高能量激光在样品表面烧灼出一定深度的沟道，实现样品表面的切割，即解理管芯的目的。 三、备注：只能划3inch及3inch以下样品。
主要技术指标
1、水平精度：1.0μm； 2、划线深度：20μm±10%； 3、划线宽度：10.0μm； 4、重复精度：1μm。
加工平台布局位置