超声扫描显微镜（B405）
编号： D9500【探测样品内部空隙】
工艺类别： 可靠性
所属单位： 加工平台
管理员： 孙国彧
状态： 正常
价格： 120/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：1.检测材料内部的杂质颗粒、夹杂物、沉淀物；2.内部裂纹；3.分层缺陷；4.空洞、气泡、空隙等。二、原理：超声扫描是利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。三、备注：1.需要液体进行超声波传输，可能给样品带来损害；2.很难检测出表面很粗糙或者内部有很多气泡的样品；3.样品不能太厚。
主要技术指标
1.主要探头频率： 15MHz/30MHz/50MHz/100MHz/230MHz 2.扫描范围：327mm×314mm 3.扫描精度：X/Y轴± 0.5 μm 4.扫描模式 : A, B, C, T, Q-BAM
加工平台布局位置