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一、典型应用：可用于烘烤光刻胶等领域。
二、原理：通过特有的风道设计及精密的数显控制仪表与温感器的连接来控制温度,风源是由送风马达运转带动风轮经由电发热器,将热风均匀送至风道后进入烘箱工作室,且将使用后的空气再次吸入风道成为风源再度循环加热运行,周而复始不断循环加热,达到需要的温度。
三、备注：1、工艺温度低于200℃请多预约1小时降温时间，工艺温度高于200℃请多预约2小时降温时间。
2、只允许烘烤光刻胶。
3、使用时间08:30-22:00。加班时间段以光刻加班时间为准，如果光刻没有加班，烘箱不可预约加班时间。
4、禁止150℃以上打开氮气烘箱。禁止在别人预约工艺时间打开氮气烘箱。
5、预约时间必须充足，如时间不足，到点取出，后果自负。
6、氮气烘箱不可通宵运行。
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