管式退火炉1（B103）
编号： L4508型卧式炉【25℃-700℃管式退火】
工艺类别： 掺杂
所属单位： 加工平台
管理员： 吴畅
状态： 正常
价格： 150/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：主要适合用于半导体器件，纳米材料、二极管、IC电路、光电子、太阳能电池、扩散、氧化、退火等工艺的专用设备。本设备采用高可靠的配置，关键部分为进口件，故可靠性、重复性及质量稳定。 二、原理：管式退火炉是通过电阻丝加热，精闸管（可控硅）精确控温。设备采用前、中、后3段温区控制，前后温区为温度拉偏区，中间温区为工艺恒温区，良好的实现温度控制。 三、备注：预约请标注好温度、恒温时间、气体氛围。
主要技术指标
设备技术参数： 1、石英管内径75mm（2寸片）； 2、管内恒温区300mm（静态闭管测试）：450-750℃，精确度±1℃，300-450℃，精确度±1.2-2.5℃； 3、工作温度300-700℃； 4、升温速率15℃/min，降温速率5℃/min； 5、开机重复性精度±1℃； 6、每管加热变压器功率6kVA，恒温功率3.2kVA。加热元件为直径6mm高温电热丝；
加工平台布局位置