四探针测试仪（B103）
编号： CRESBOX【测量方阻、电阻率】
工艺类别： 检测
所属单位： 加工平台
管理员： 吴畅
状态： 正常
价格： 30/15分钟
单位预约时间： 15(单位:分钟)
用途
一、典型应用：用于测量硅片、外延层、扩散层、ITO、离子注入层、金属薄膜等的电阻率和方块电阻。 二、原理：四探针测试技术利用四根等间距配置的探针扎在材料表面，由恒流源给外侧的两根探针提供电流I，测量出中间两根探针之间的电压V，求出电阻率及方块电阻。 三、备注：培训半小时起约。
主要技术指标
1、电压：3mV、30mV、300mV； 2、电流：100nA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA； 3、探针间距1mm； 4、8英寸样品向下兼容。
加工平台布局位置