研磨机（B400）
编号： AL-380F【晶圆研磨】
工艺类别： 其它
所属单位： 加工平台
管理员： 李威磊
状态： 正常
价格： 300/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：Si，玻璃，蓝宝石，陶瓷，GaN等材料晶圆研磨抛光。 二、设备原理：利用不同颗粒度的研磨液，对所要研磨的样品进行物理加工处理，使样品的厚度及表面粗糙度到达所要求范围，对晶片实现研磨处理。 三、备注：钻石研磨液：1元/毫升（根据用量收费，收费条目：材料费） 研磨盘单独修整1000元/次（收费条目：其他） 培训2h起约。
主要技术指标
1.加工样品尺寸：6英寸、4英寸、2英寸及小片； 2.不均匀性：<8%；3.表面粗糙度Ra：20-100nm； 4.晶片可加工到厚度： Si:50μm, 玻璃：80μm, 蓝宝石：100μm。
加工平台布局位置