Veeco轮廓仪（B103）
编号： WYKO NT1100【测量台阶、粗造度】
工艺类别： 检测
所属单位： 加工平台
管理员： 吴畅
状态： 正常
价格： 40/15分钟
单位预约时间： 15(单位:分钟)
用途
一、典型应用：可用于MEMS表征、厚膜、光学元件、半导体器件表面形貌、机械加工部件粗糙度数据测量分析以及表面质量和缺陷的检测等。 二、原理：美国Veeco公司生产的WYKO NT1100光学轮廓仪，是利用干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的微分干涉显微镜，应用相移干涉技术，实现对表面轮廓进行快速、重复性高、分辨率高的测量。 三、备注：培训半小时起约。
主要技术指标
1、垂直测量范围：0.1mm-1mm； 2、垂直分辨率：＜0.1nm； 3、横向分辨率：13.1μm； 4、视野范围：0.05-8.45mm； 5、测量模式：PSI-适合测量粗糙度小于160nm结构； VSI-适合测量粗糙度小于1mm结构。
加工平台布局位置