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一、典型应用：半导体工艺制程表面形貌表征。
二、原理：台阶仪主要的工作就是用于测量，当其触针在被测的物体表面轻轻滑过时，接触体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。而当传感器输出的信号经过测量的电桥之后，输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比，调幅信号也随之出现，经过放大和整流之后，位移信号就从调幅信号中解调出来了，也就能在控制器中被读出来。
三、备注：①测试取放样品时，必须将探针抬到高处；②测试样品时，如有人等待使用不得超过15min；③设备预约培训，半小时起，培训三次后通过考核可以获得登录账号。
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