MOCVD AIX2400 G3（B204）
编号： AIX2400G3
工艺类别： 外延
所属单位： 加工平台
管理员： 邓旭光
状态： 停用
价格： 100/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
设备维修中，请勿预约工艺！ 用于GaAs与InP基的III-V化合物半导体薄膜的外延生长。
主要技术指标
8x3"行星式反应室，管路配置为AsH3、PH3、SiH4、HCl、TMGa、TBAs、Ferrocene与DEZn。
加工平台布局位置