退火炉2-CALOGIC(302)
编号： CALOGIC【6英寸常规退火】
工艺类别： 镀膜
所属单位： 加工平台
管理员： 李澳
状态： 正常
价格： 300/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：金属合金、薄膜消除应力。 二、原理：主要用于金属物质退火和氧化，配置气体为氮气、氧气。 三、备注：氧气退火或碳化硅、蓝宝石样品请提前与工作人员联系
主要技术指标
1、常压退火，温度控制显示精度全量程0.1°C；炉体外部三点控温，各个SPIKE测量点都采用双热电偶，在一只热电偶断路时另一只能继续完成工艺；工艺器期间，炉体内部使用profile精确控温模式； 2、程序控制单元，气体/压力控制精度±0.5%； 3、样品尺寸及片数，一次最多可以装载100片6英寸、100片四英寸基片或100片两英寸基片； 4、所配退火工艺气体N2/O2/H2。
加工平台布局位置