旋转涂布机（B104）
编号： OPTIcoat【110℃烘烤温度】
工艺类别： 光刻
所属单位： 加工平台
管理员： 戴诗歌
状态： 正常
价格： 100/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：可用于晶圆表面涂胶工艺等领域。 二、原理：将光刻胶滴注到晶圆表面，高速旋转把光刻胶铺展到晶圆上形成薄层，干燥后除去多余的溶剂。 三、备注：本机台包含旋转涂胶部分和热板。目前只开放热板功能。
主要技术指标
1、落地式全自动涂胶机，转速范围1-1000rmp。 2、加速度范围1-5000rmp/sec；旋转精度±2rmp。 3、热板：最高300℃；温度分辨力0.1℃（<100℃）。 4、温度非均匀性<0.5%。
加工平台布局位置