NIKON-I12步进光刻机（B105）
编号： NSR 2205I12D【350nm线宽尺寸】
工艺类别： 光刻
所属单位： 加工平台
管理员： 祝伟
状态： 正常
价格： 1700/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：适用于4寸非透明片的高分辨率、高套刻精度和大批量样品曝光。 二、原理：采用I线光源和5:1缩小投影镜头，运用高精度投影镜头成像以及高精准干涉仪控制工作台步进运动，将掩膜版图形转移至晶圆表面。配备自动调平、调焦功能。 三、备注：1.非完整样品无法进行光刻工艺。 2.透明片样品无法进行光刻工艺。 3.设备曝光时间范围为50ms-2000ms。
主要技术指标
1、光源：I线（365nm波段）。 2、曝光强度：500-630毫瓦每平方厘米。 3、照明非均匀性：1.5%以内。 4、掩模光栏设置精度：+0.4mm到+0.8mm。 5、工作台步进精度：±0.05μm。 6、套刻精度：±0.100μm。 7、投影到样品上的最大曝光面积：22mm*22mm。 8、分辨率：0.35μm。 9、样品厚度：350-1000μm 10、特定的套刻标记形貌。
加工平台布局位置