紫外纳米压印（B203）
编号： 02
工艺类别： 光刻
所属单位： 加工平台
管理员： 祝伟
状态： 正常
价格： 400/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：适用于2英寸及以下样品大批量重复性地制备纳米图案结构。 二、原理：被单体涂覆的衬底和透明压模装载到对准机中，通过真空被固定在各自的卡盘中，当村底和压模的光学对准完成后，开始接触。透过压模的紫外曝光促使压印区域的聚合物发生聚合和固化成型。 三、备注：需要选择特定的纳米压印光刻胶。
主要技术指标
1、2寸压印面积。 2、可高达5kg/cm2 的气压压印力，(25kg均匀机械压印力,可选)。 3、加热温度达300℃。 4、紫外冷光源。
加工平台布局位置