一、典型应用:wafer清洗、剥离等。
二、原理:有机化液可以溶解光刻胶等有机物,达到清洁wafer或剥离作用。
三、备注:
1.周一至周五清洗间开放时间08:30--22:00,此时间段无需预约,但22:00之后停止使用;
2.周六清洗间开放时间08:30--18:00,此时间段无需预约,但18:00之后停止使用;
3.周日需要特批后,预约缴费(3个小时起约;按240/小时收费);
4.平台学生周日使用清洗间,需要指导老师批准后方可使用;
5.所有使用者清洗结束后需要做到:器皿归位、关闭设备电源、拔线、关灯、关门。
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