高压高流探针测试系统（B723）
编号： Cascade150+ B1505A【高压测试】
工艺类别： 检测
所属单位： 苏州纳米所
管理员： 王洋洋
状态： 正常
价格： 1200/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：是一款一体化器件表征分析仪，能够测量 IV、CV 等参数。 二、原理：插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。 三、备注：1、高压测试需低氟化液；2、预约时请注明测试方式与条件（高压/高流/变温）；3、高温测试预约机时需包含降温时间。
主要技术指标
1、测试样品：10mm×10mm ～ 2 inch/4 inch/6 inch; 2、温度范围：25℃～300℃（±1℃）; 3、高压源监视单元(HVSMU)工作范围：±1500 V / ±8 mA，±3000 V / ±4 mA； 4、高流源监视单元 (HCSMU)工作范围：±100 V / ±1 A，±20 V / ±20 A (仅限脉冲)； 5、多频电容测量单元(MFCMU)工作范围：1 kHz～5 MHz。
加工平台布局位置