应力仪（B302）
编号： FSM8800【6英寸薄膜应力测试】
工艺类别： 检测
所属单位： 加工平台
管理员： 杨磊
状态： 正常
价格： 100/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
一、典型应用：测试薄膜应力、样品翘曲 二、原理：：FSM应力测试设备，通过激光扫描方式测量硅片表面轮廓，计算沉积薄膜前后硅片的曲率变化得到薄膜应力数值。 三、备注：实际收费标准为每条曲线100元。
主要技术指标
1.薄膜厚度测试范围：50nm～1200nm； 2.应力测试范围：1MPa～3000MPa； 3.硅片尺寸：4英寸～8英寸。
加工平台布局位置