金属干法刻蚀机（B103）
编号： LAM9600【刻蚀金属Al、Ti等】
工艺类别： 刻蚀
所属单位： 加工平台
管理员： 孙国庆
状态： 正常
价格： 600/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：用于Ti、TiN、Al、Al203、Ta、TaN、Mo、Ge等金属以及金属化合物的刻蚀。 二、原理：通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解，产生的具有强化学活性的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面，对样品表面既进行化学反应生成挥发性气体，又有一定的物理刻蚀作用。因为等离子体源与射频加速源分离，所以等离子体密度可以更高，加速能力也可以加强，以获得更高的刻蚀速率，以及更好的各向异性刻蚀。 三、备注：①6寸透光样品，设备无法识别传片；②预约备注好刻蚀材料。
主要技术指标
1、工作真空：4-50mTorr； 2、水机控温：40-60℃； 3、反应气体：Cl2、BCl3、CF4、O2、Ar； 4、刻蚀尺寸：6寸以下兼容； 5、RF TOP:0-1250W； 6、RF BOT:0-1250W；
加工平台布局位置