真空高温炉
编号： SKY
工艺类别： 掺杂
所属单位： 加工平台
管理员： 孙玉华
状态： 检修
价格： 1000/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
设备主要用于碳化硅需要高温、真空（可通Ar）退火的加工工艺。5小时起约，使用前请联系设备管理员确认工艺，联系电话：0512-6287-2531。
主要技术指标
设备极限温度为2200℃，长时间使用温度2000℃； 设备冷态极限真空为2.3*e-5； 设备热态2000℃极限真空为5.3*e-4. 室温-1100℃，热偶控温； 1100℃-2200℃， 红外控温；温度稳定性高，准确性高。 可加工6寸样品一片，向下兼容。
加工平台布局位置