非接触霍尔测试仪（B204）
编号： LEI1600
工艺类别： 外延
所属单位： 加工平台
管理员： 邓旭光
状态： 正常
价格： 400/20分钟
单位预约时间： 20(单位:分钟)
用途
LEI-1600系列非接触迁移率测量系统是半导体生产工艺控制、产品质量监测和提高产品率的检测设备，常应用于无损测量化合物半导体材料的迁移率、载流子浓度、方块电阻。测量样品包括GaAs (pHEMT, HEMT, HBT)，GaN(HEMT，LED)，SiC，SiGe，InP，Si等的外延结构。 特点： 1无需破坏、切割昂贵的样品，实现大样品mapping 2无需腐蚀，不改变样品的特性 3不需要制作电极 4可同时分析多层载流子
主要技术指标
样品尺寸：2"-8"或者16mm×16mm的方形样品； 迁移率测量范围：100-20000（cm2/v.sec)； 方块电阻测量范围：100-3000（ohm/sq)； 载流子面密度测量范围：1E11-1E14（cm-2）； 电磁铁磁场强度：1.0T 探头线圈直径：15mm
加工平台布局位置