开启式真空气氛管式退火炉(B202)
编号: SK-G08123K
工艺类别: 掺杂
所属单位: 加工平台
管理员: 孙玉华
状态: 停用
价格: 400/60分钟
单位预约时间: 60(单位:分钟)
用途
在N2氛围下,通过一定的速率进行升降温,达到一定温度并保持一定时间,达到对样品材料进行退火的目的。5小时起约,使用前请联系设备管理员确认工艺。(目前作为烘烤碳膜设备)
主要技术指标
气体氛围: N2; 装片: 2英寸,向下兼容; 可退火材料:非易挥发性固体、金属、光刻胶等; 预约说明 a. 有挥发性物体严禁进入腔室; b. 当炉温高于200℃时禁止取放样品; c. 当炉温高于200℃时禁止开启上炉体; d. 为延长炉管使用寿命,升降温需保持一定速率:室温-500℃≤ 5℃/min,500℃-800℃≤ 10℃/min,800℃-1000℃≤ 5℃/min,1000℃-1200℃≤ 2℃/min。 e. 严格遵守使用气体的安全规定,注意通入气体的先后顺序。 f. 通入气氛时压力不可大于压力表指示的0.05MPa。 g. 预约工艺请填写退火气氛及退火时间,由于客户填写退火气氛及退火时间与实际工艺有误,工艺员有权取消该次工艺,由此产生的费用有客户自己承担。 单次工艺3小时起预约,如有填写疑问,请联系设备负责人。
加工平台布局位置