开启式真空气氛管式退火炉（B202）
编号： SK-G08123K
工艺类别： 掺杂
所属单位： 加工平台
管理员： 孙玉华
状态： 检修
价格： 400/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
在N2氛围下，通过一定的速率进行升降温，达到一定温度并保持一定时间，达到对样品材料进行退火的目的。5小时起约，使用前请联系设备管理员确认工艺。（目前作为烘烤碳膜设备）
主要技术指标
气体氛围： N2； 装片： 2英寸，向下兼容； 可退火材料：非易挥发性固体、金属、光刻胶等； 预约说明 a. 有挥发性物体严禁进入腔室； b. 当炉温高于200℃时禁止取放样品； c. 当炉温高于200℃时禁止开启上炉体； d. 为延长炉管使用寿命，升降温需保持一定速率：室温-500℃≤ 5℃/min，500℃-800℃≤ 10℃/min，800℃-1000℃≤ 5℃/min，1000℃-1200℃≤ 2℃/min。 e. 严格遵守使用气体的安全规定，注意通入气体的先后顺序。 f. 通入气氛时压力不可大于压力表指示的0.05MPa。 g. 预约工艺请填写退火气氛及退火时间，由于客户填写退火气氛及退火时间与实际工艺有误，工艺员有权取消该次工艺，由此产生的费用有客户自己承担。 单次工艺3小时起预约，如有填写疑问，请联系设备负责人。
加工平台布局位置