NE-950刻蚀机（B304）
编号： NE-950【III-V族材料刻蚀】
工艺类别： 刻蚀
所属单位： 加工平台
管理员： 张伟
状态： 正常
价格： 600/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用：Ⅲ-Ⅴ族化合物材料刻蚀，可自行调试工艺。 二、原理：通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解，产生的具有强化学活性的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面，对样品表面既进行化学反应生成挥发性气体，又有一定的物理刻蚀作用。因为等离子体源与射频加速源分离，所以等离子体密度可以更高，加速能力也可以加强，以获得更高的刻蚀速率，以及更好的各向异性刻蚀。 三、备注：1.预约请备注刻蚀材料，否则审核不通过； 2.其他特殊材料请提前联系工作人员。
主要技术指标
1.设备配气：Ar、O2、、CF4、C4F8、SF6、SiF4、Cl2、BCl3； 2.Antenna RF：0-2000W； 3.Bias RF:0-2000W； 4.Shield：～+200℃； 5.chiller：-20～+40℃；
加工平台布局位置