Disco切割机(软刀)(B400)
编号: DAD 3350【刀宽100、200um左右】
工艺类别: 封装
所属单位: 加工平台
管理员: 石瑞霞
状态: 正常
价格: 300/30分钟
单位预约时间: 30(单位:分钟)
用途
一、典型应用:切割样品尺寸为2/4/6/8寸的玻璃、石英、铌酸锂、钽酸锂、氧化镓、PCB板、≤250um厚的陶瓷、硅基氮化镓、SiC、Si、SOI、GaAs等材料。二、原理:以空气静压电主轴为执行元 件,以强力磨削原理对被加工物进行物理划切。三、备注:样品衬底为氮化镓、蓝宝石的样品无法进行工艺。若有疑问,请致电62872989。
主要技术指标
1、切割速度根据样品材料可调,一般Si、SOI、GaAs切割速度2-7mm/s;石英、玻璃、铌酸锂、钽酸锂、氧化镓、PCB板、≤250um厚的陶瓷、SiC、硅基氮化镓切割速度为2mm/s。 2、切割深度:≤650um,如样品厚度>650um,一般采用不划穿+手动裂片方式或者多刀划穿,1mm厚的样品、≤250um厚的陶瓷、SiC只能用200um软刀进行切割。 3、因预约错误造成的费用需客户自己承担
加工平台布局位置