BAKE OVEN（B204）
编号： BAKE OVEN
工艺类别： 外延
所属单位： 加工平台
管理员： 邓旭光
状态： 正常
价格： 7050/720分钟
单位预约时间： 720(单位:分钟)
用途
MOCVD石墨盘的清洁
主要技术指标
1.6m宽 X 2.4m长 X 2m高； 6层支架 双区加热； 加热功率 150KW； 最高工艺温度 1300℃； 自动手动两种模式； 可选工艺 H2 3h + Cl2/N2 1h BAKE 满炉BAKE 7050元
加工平台布局位置