检漏仪安捷伦（B204）
编号： VS-BD30
工艺类别： 外延
所属单位： 加工平台
管理员： 赵迎春
状态： 检修
价格： 400/60分钟
单位预约时间： 60(单位:分钟)
用途
真空设备检漏。
主要技术指标
最小探测漏率：5*e-12,mbar.L/s，最大探测漏率:1*e-4,mbar.L/s，最大测试压力：10Torr，泵抽速：50L/min。
加工平台布局位置