MOCVD#1（B204）
编号： SR4326KS
工艺类别： 外延
所属单位： 加工平台
管理员： 张丽
状态： 正常
价格： 500/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
主要进行Ga2O3薄膜，Ga2O3纳米线以及相关Ga2O3基器件结构外延； 机时预约，请先与设备工艺人员讨论好生长程序再进行预约
主要技术指标
温度：1250℃ 压力：常压 转速：30rpm MO源：TMGa TEGa 气体：O2 N2O 反应室类型：水平式 样品数量：3X2"
加工平台布局位置