表面缺陷分析仪（张家港）
编号： Candela 8420
工艺类别： 检测
所属单位： ZICS
管理员： 李付锦
状态： 正常
价格： 400/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
本页面显示价格为设备使用费，不包含人员服务费。 该系统采用光学表面分析(OSA)专有技术可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，以实现自动缺陷检测和分类，自动化晶圆检测系统的缺陷检测和检测技术结合了散射测量、椭圆偏光法、反射测量和光学形状分析，通过无损检测的方式对晶圆表面的残留异物、表面和表面下缺陷、形状变化和薄膜厚度均匀性进行检测，其灵敏度远大于共聚焦技术。（本设备放置于张家港，如需使用可致电0512-58188220转8011/13962512911（李老师）沟通。）
主要技术指标
设备厂家：KLA-Tencor 型号：Candela 8420 参数配置: 自动装片； 最大测试衬底尺寸6寸，厚度350um到1mm； 探测尺寸极限：83nm； 扫描速率：4寸 40WPH
加工平台布局位置