方阻仪（张家港）
编号： Leihiton
工艺类别： 外延
所属单位： ZICS
管理员： 李付锦
状态： 正常
价格： 200/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
本页面显示价格为设备使用费，不包含人员服务费。 50元/数据点，200元/面扫描（本设备放置于张家港，如需使用可致电0512-58188220转8011/13962512911（李老师）沟通。） 非接触体电阻/方块电阻测试系统。器件制备过程中需要严格测试方块电阻，而方阻分布的整体信息以用来优化达到最大生产效率。Semilab LEI-1510测试系统可以实现方块电阻的无损检测。
主要技术指标
设备厂家：LEHIGHTON ELECTRONICS INC. 型号：LEI1510EC 参数配置: 利用涡流原理无损快速测量晶圆所有导电层的方块电阻 超低量程测量范围为 0.032 ~ 1.6 Ω/□ 测量标准偏差 0.1%~1.0%（因量程而异） 线性度0.035~3000 Ω/□ < ± 3% 测试范围：电阻率0.01-200Ω-cm
加工平台布局位置