电化学ECV（张家港）
编号： Nanometrics ECVpro
工艺类别： 检测
所属单位： ZICS
管理员： 李付锦
状态： 正常
价格： 200/30分钟
单位预约时间： 30(单位:分钟)
用途
本页面显示价格为设备使用费，不包含人员服务费。 对半导体器件设计和制造，器件中的载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，ECV提供了对杂质的浓度及分布更精确可靠的测量。ECV方法利用合适的电解液即可作为合适的肖特基接触的电极测量C-V特性，又可进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分布，剖面深度不受反向击穿的限制，并可测量pn结。（本设备放置于张家港，如需使用可致电0512-58188220转8011/13962512911（李老师）沟通。）
主要技术指标
设备厂家：nonometrics 型号：ECV Pro 参数配置: 测量频率范围347Hz~27.7kHz 使用铂金电极，而非甘汞电极 标配mapping测试能力 CCD实时测量电解液润湿面积 固定电压受控腐蚀技术
加工平台布局位置